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洁净度
洁净室自净时间怎么测,又怎么缩短
洁净室的干净不是恒定的,换班、清洁、检修都会瞬时扰动粒子浓度。自净时间就是这套系统喘口气恢复过来要多久,是抗扰动能力的试金石。
2026-11-10
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