洁净室靠'梯度正压'阻挡交叉污染,压差表(或压差变送器)是日常巡检的第一双眼睛。
红绿区刻度,指针进绿区(如 5–15 Pa)为正常,落到红区说明过滤器堵塞或门缝漏风。读数时视线与表盘垂直,避免视差。
4–20 mA 信号远传到 DDC,屏显 Pa 值并带上下限报警;重点看趋势,单点跳变先查取压管是否堵。
压差不足等于洁净度可能失控;压差过大等于漏风耗能。判断标准见 洁净室专题 的压差梯度设计。