洁净室悬浮粒子与微生物监测方案

洁净室不能只建不测，持续监测才能证明受控状态。

一、粒子监测

用远程粒子计数器布点，连续或定期采样大于等于 0.5 μm 与大于等于 5 μm 粒子，超标即报警并溯源。

二、微生物监测

沉降菌、浮游菌、表面接触碟定期培养，监控霉菌与细菌总数，配合温湿度记录。

三、数据闭环

监测数据接 EMS 系统，与压差、温湿度联动，异常自动留痕。完整体系见 洁净室技术专题。