洁净室温湿度控制范围与偏差处理

温湿度既关系工艺良率，也关系人员舒适与静电控制，洁净室须双参数联调。

一、典型范围

电子洁净间常控 22±2 ℃、55±5% RH；制药更看重湿度对微生物的影响；偏差会诱发静电与结露。

二、偏差处理

温度偏高先查冷量与新风湿负荷；湿度偏高查除湿与工艺产湿；用露点控制比相对控制更稳。

三、耦合难点

温湿度与压差相互耦合，调一方会动另一方，需 DDC 串级控制。见 洁净室运维难点。